1.是借助精度为0.5m的电子水平仪，用位移法可检测大理石平台的直线度，用次方法可检测大理石平台的平面度，将检测的结果经过算法换算，可得到大理石平台的直线度和平面度的具体数值；其特点是精度不太高，但测量数据可靠，无“0”点漂移问题，特别适合于在线测量与检测精密大理石平台。

 

2.测量精密大理石平台直线度的方法可以通过精度为0.1m的电容测微仪用位移法测量，其表头的示值即为精密大理石平台的直线度的误差值；在此测量中，由于电感测微仪自身的“0”点漂移较严重，需经过长达24h的稳定后，其数值才可信，故使得精密大理石平台加工与测量间的衔接时间增长。

 

更高精度精密大理石平台的加工必须有更高一级精度的检测手段，目前常采用HP5528A或HP5529A动态校准仪，它的显示精度为1nm，可检测平面度、垂直度、直线度、时基即振动、角位移测量、对角测量等等。动态校准仪的检测精度特别高，但由于其复杂的光学系统和复杂的调试程序，尤其是光具返回光束的光强和保证在80%以上，否则光束将被挡住，这对精密大理石平台调试者来说